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測定原理

スケール本体  アブソリュート測定方式
光学走査方式のハイデンハイン エンコーダは、目盛を付けた格子構造で作られたスケール本体を組込んでいます。この目盛は、ガラスまたはスチールベースの表面に付けてあります。長尺測定用のスケール本体は、スチールテープです。

精密目盛は、各種のフォトリトグラフ製法で製作されます。目盛の作り方は以下の通りです。
・ガラスの表面に硬いクロムライン
・金メッキスチールテープの表面につや消しエッチングライン
・ガラスまたはスチール表面に三次元構造

ハイデンハインが開発したフォトリトグラフ製法では、代表的なサイズとして40μmから4μmまでの格子間隔が製作できます。

この製法は、極細の格子間隔を可能にし、明瞭かつ均一なラインエッジを製作できる事を特徴としています。

光電走査方式と共に、このラインエッジの高い明瞭度度が、出力信号の質の高さを保証します。

マスター目盛は、ハイデンハインが開発したオリジナルのルーリングマシンで製作されます。

磁気式エンコーダは、磁化可能な薄膜を目盛キャリアとして使用します。
この薄膜の中に、N極とS極からなる目盛が形成されます。

アブソリュート測定方式では、電源を投入すればエンコーダからの絶対位置情報(アブソリュート値)がすぐに出力されます。後続の電子部によって、随時そのアブソリュート値を呼び出す事ができます。
その為、頂点位置を探す為に軸を移動させたり、アブソリュート値を保持する為のバックアップ電源も必要ありません。これはアブソリュート値を複数のトラックのそれぞれ異なる目盛周期を持つスケール目盛や1つのトラックがアブソリュートコードを持つスケール目盛から読み出される為です。なお、スケール目盛には最小分解法のためやアナログ信号を出力する為のインクレメンタルトラックも持っています。

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日本海計測特機株式会社

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