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測定原理

光電走査  
ハイデンハインのエンコーダは大抵、光電走査を動作原理としています。
スケール本体の光電走査は非接触方式であり、従って、磨耗の心配がありません。光電走査では、実に数マイクロメートル幅の超微細な目盛すら検出し、出力信号を非常に細かい信号周期で発生させます。

スケール本体の格子間隔が細かければ細かい程、光電走査への回析の影響は大きいです。
ハイデンハインでは、ロータリーエンコーダと共に2つの走査方式を使用しています。

イメージ走査方式:格子間隔10〜40μmの目盛に適用

干渉走査方式:格子間隔4μmの極細の目盛に適用

イメージ走査方式
単純に言えば、イメージ走査方式は、透過光信号発生の機能を利用するものです。格子間隔の等しい2つの目盛格子、すなわちスケールと走査板を相対移動させます。走査板の材料は透明ですが、スケール本体の目盛は、透明の表面に付けても反射表面に付けても構いません。

平行な光が格子を通過すると、明るい面と暗い面がある一定の距離をおいて光を透過します。同じ格子間隔を持つ相手格子がそこに置かれています。2つの格子が互いに相対移動すると、入射光は変調されます。
ギャップを揃えると、光は透過します。一方の格子のラインが他方の格子のギャップと一致すると、光は透過しません。受光素子が、これらの光の強さの変化をほぼ正弦波形の電子信号に返還します。走査板の特殊構造の格子は、ほぼ正弦波形の出力信号が発生するように光電流を濾過します。

格子構造の格子間隔が細かければ細かい程、走査板とスケールの間の距離は狭くなければなりません。
イメージ走査方式を使用するエンコーダの実際取付公差は、格子目盛間隔にして10μm以上です。

リニアエンコーダLC、LS、LBは動作原理としてイメージ走査方式を採用しています。

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日本海計測特機株式会社

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