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測定原理

光電走査  
干渉走査方式
LFの干渉走査方式は、変位量の測定に使用される信号を作り出す為に細かい目盛に当る光の回析と干渉を利用します。ステップ格子がスケール本体として、使用されます。高さ0.2μmの反射ラインを平坦な反射表面に施した物です。その正面に走査板があり、スケールと同じ格子間隔を有する透明の位相格子です。

光波が走査板を通過すると、これがほぼ同等の光度を有する次数-1,0,1の部分波に回析されます。部分波はスケールによって、光度のほとんどが回析次数1と-1で検出されるように回析されます。これらの部分波は、再び走査板の位相格子で出会い、そこで再び回析され、干渉し合います。これで基本的に3つの波が作られ、これらが異なる角度で走査板を出て行き、受光素子がこれらの光の強さを電気信号に変換します。

スケールに対する走査板の相対移動が波頭を移相させます。すなわち、格子が間隔1つ分移動すると、次数1の波頭は波長1つ分プラス方向に移動させられ、次宇-1の波頭は波長1つ分、−方向に移動させられます。
波は、格子を出る時に互いに干渉するので、互いに相対的に波長2つ分移相することになります。従って、格子間隔1つ分の相対移動から結果的に信号周期2つ分の移相が生じる事になります。

干渉型エンコーダは、格子間隔が例えば8μm、4μm及びそれ以下です。その走査信号は調波をほとんど含まず、高倍率で補間できます。従って、このタイプのエンコーダは、高い分解能、高い精度が要求される用途に特に、適しており、まさに、その余裕ある取付公差が広範な用途において幅広い取付けを可能にします。

干渉走査方式で働くシールドタイプリニアエンコーダにLFの呼称が与えられています。

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