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測定精度

   
長さと測定の精度は、主として次のものによって決定されます。
● 目盛の質
● 走査の質
● 信号処理装置の質
● 走査ユニット上のスケール案内面からの誤差

比較的大きい移動距離(例えば測定範囲全体)に渡っての位置誤差と1信号周期内の位置誤差とを区別します。
    
測定全体に渡っての位置誤差
シールドタイプリニアエンコーダの精度は、次に定義される通り、精確さの度合いとして指定されます。

総合位置誤差の最大値Fは、――その平均値を基準として――測定長のどの任意区間(最大1m)に対して精度±aμmの範囲内にあります。

この公差域も検定表に示してあり、1信号周期内の位置誤差を表します。
シールドタイプリニアエンコーダの場合、この値は、走査ユニットを含むエンコーダシステム一式に当てはまります。そこで、これをシステム精度と呼びます。

1信号周期内の位置誤差
1信号周期内の位置誤差は、エンコーダの走査の質と信号周期によって決められます。測定長全体の中のどの位置においても、その値は、信号周期の約±2%を超えません。
信号周期が細かければ細かいほど、1信号周期内の位置誤差は小さいです。

  走査信号の信号周期 1信号周期における
最大位置エラー
LF 4μm 0.08μm
LC181 16μm 0.3μm
LC481 20μm 0.4μm
LS 20μm 0.4μm
LB 40μm 0.8μm

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日本海計測特機株式会社

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