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スケール本体の走査

磁気走査

スケールに対する走査板の相対移動が、波頭を位相させます。
すなわち、格子が間隔1つ分移動すると、次数1の波頭は波長1つ分、プラス方向に移動させられ、次数−1の波頭は波長1つ分、マイナス方向に移動させられます。波は、格子を出る時に互いに干渉するので、互いに相対的に波長2つ分位相する事になります。従って、格子間隔1つ分の相対移動から信号周期2つ分の位相が生じる結果となります。干渉型エンコーダは、平均格子間隔が4μm以下で、その走査信号は調波を殆ど含まず、高倍率で補間できます。従って、このタイプのエンコーダは特に、高い分解能、高い精度が要求される用途に最適です。まさに、その余裕ある取付け交差が広範な用途において幅広い取付けを可能にします。

高精度ロータリエンコーダRPN886は干渉方式で働く代表的なタイプです。

磁気走査原理は、硬磁性金属表面に永久磁性MAGNODUR目盛を付けた形のスケールを使用します。目盛は、交番の北極と南極から形成されます。
スケールを走査するのは磁気抵抗センサで、これが、スケールの磁界に応じて抵抗を変えます。電圧がセンサにかけられると、流れている電流は磁界に応じて変調されます。

抵抗センサの特殊な幾何学的な配列により、高い信号品質が保証されます。これは、1信号周期の間に最小限の位置誤差しか生じないようにする為の重要な前提です。1本の独立したトラックに設けられた唯1対の磁極が1個の原点信号を作り出します。これで、この絶対位置を正確に1つの測定ピッチに割当てる事が可能となります。

磁気走査方式のハイデンハインエンコーダは、格子間隔400μmが代表的です。磁気走査式は、走査ギャップの変化に対する感度が高いので、格子間隔を小さくする事が非常に困難です。ですから、使用環境にもよりますが、磁気方式のエンコーダは、回転当り格子目盛線2600本のタイプが殆どで、ハイデンハインの定義によれば、これは、高精度ロータリエンコーダではありません。

磁気抵抗走査は、主として、オープン型光学系が適さない比較的低い精度の用途に使用されます。

ERM高精度ロータリエンコーダは、磁気抵抗走査原理に従って、働きます。

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