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オリンパス株式会社

走査型共焦点レーザ顕微鏡 LEXT  OLS3000

Welcome to the LEXT generation

次世代共焦点レーザ顕微鏡をリードするLEXT。

○信頼できるリアリティ

408nmバイオレットオプトシステム採用

408nm専用光学系を自社開発。収差を抑えることで、408nmの性能を最大限に引き出すことに成功し、最高の分解能を提供します。

世界最高レベルの平面分解機能0.12μm

0.12μmのラインアンドスペースにおいて、ライン1本1本を確実に認識します。

高精度計測を実現

高さ情報を高精度に検出するCFOサーチ機能を搭載。高い繰り返し性を実現します。

明視野・暗視野・微分干渉観察搭載

カラー3Dから微分干渉観察まで多彩な観察法を搭載。さまざまな情報の取得が可能です。

○進化した操作性

細片化蒸着などの前処理が不要

最大 100(H) x 100(W) x 100mm(D) 、10kgまでの大型試料に対応。試料は前処理無しでステージにそのまま載せるだけで観察/計測が可能です。

測定個所の確認が容易

見つけにくい欠陥も即座に発見可能な明視野/暗視野/微分干渉観察など金属顕微鏡の機能を搭載。さらにカラー3D観察(明視野)をはじめ、世界初の暗視野観察/微分干渉観察とLSM像との同一画面上での表示も実現しました。また、高速レボルバの搭載、微動感度に優れたステージにより、目的の箇所素早くアプローチすることが可能です。

○仕様

 

レーザスキャン仕様

ユニバーサル仕様

検査方法

レーザ

レーザ、明視野、暗視野、微分干渉

本体

照明

レーザ

408nm半導体レーザ

クラス2

明視野

-

12V100Wハロゲンランプ

Zステージ

マニュアルステージ

70mm

電動ステージ

100mm

Zレボルバ

輝度

10mm

高さ

0.01μm

対物レンズ

5X、10X、20X、50X、100X

光学ズーム

1X〜6X

ステージ

マニュアルステージ

100 X 100mm

電動ステージ

150 X 100mm

フレームメモリ

輝度

1024 X 1024 X 12bit

高さ

1024 X 1024 X 15bit

AF

レーザ反射式

外形寸法

464(W) X 559(D) X 614.5(H)mm

質量

56.9kg

57.9kg

価格 お問い合せください

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日本海計測特機株式会社

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