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丸本ストルアス

ターゲットシステム

目視可能なターゲットはもちろん目視不可能なターゲットまで高精度に位置決め

アップグレード可能なモジュール・システム

ターゲットマスターとターゲットドーザー

-自動試料準備、洗浄及び測定

-埋込み/非埋込み試料の断面研磨と平行研磨

-目視可能(外部)なターゲットと目視不可能(内部)なターゲットをリアルタイムで位置合わせ

-内臓のレーザー計測システムで±5μmのシステム精度を実現

-人工知能試料準備システム(IPS)

 研磨/琢磨面の材料除去率を保存するIPSデーターベース

 材料除去率と材料除去時間の自動再計算

-非常に簡単な操作

ユーザーの利点は

-研磨中にターゲットを行き過ぎる事がない

-試料準備時間を大幅に短縮できる(30分以下)

-試料準備担当の技能を問わない

-完璧な再現性

ターゲットシステムは、研削精度が±5μmで、研究開発や不良解析の実験室で行っているターゲット(規制研磨)試料準備や超精密試料準備に使用する装置です。代表的な応用分野は、マイクロエレクトロニクスやディレイアリング、微細亀裂を検査する不良解析などです。システム構成機器の組合せは、必要条件に合わせて、数通りあります。

□システム構成

ターゲットシステムの中核は、ターゲットマスタです。これは200mm径の円盤を装着する超精密研磨/琢磨装置で、試料の準備品質とオペレータの両方を保護するために、密閉式の研磨室に格納してあります。初期の準備作業段階では、短時間でターゲットに到達できるように、材料除去量を電子計測システムで制御します。次に、直列式のレーザー計測システムで、最も重要な琢磨作業段階を管理します。ターゲットマスタは単独でも使用する事ができ、測定ステーションのターゲットZまたはターゲットXの何れかと組み合わせることもできます。

ターゲットドーザーは、ターゲットマスタが実行する試料準備法と各工程で使用する研磨剤と潤滑剤を管理する自動供給装置です。ターゲットドーザーは、7基のポンプを装備しています。事前にプログラムされた10件の試料準備法を内蔵しており、さらに、ユーザー設定の試料準備法を200件まで保存できます。

ターゲットグリップは、ターゲットマスタ専用の角度調整可能な試料保持器具で、最大40mm径までの埋め込み試料を装着できます。40mmまでの面積の広い試料を立てて埋めるための40mm径用垂直埋込アダプター(TRIN)や断面研磨用のサンプルチェアー(TARSC)、平行研磨用のアダプター(TARPA)の他に、25mm径の埋込済み試料をターゲットグリップに固定する際に使用する25mm径埋込済み試料固定用アダプターがあり、この場合、走査型電子顕微鏡(SEM)で観察するときなどはアダプターから取り外して使用することができます。

ターゲットZセットアップステーションを使えば、目視可能(外部)なターゲットの位置合わせをしたり、ターゲットまでの距離を測定したりできます。最大680倍まで拡大できる強力な画像システムと15インチのTFTモニタを装備していますので、ターゲットZセットアップステーションは、微細なターゲットも簡単に写像して位置合わせすることができます。

ターゲットXセットアップステーションは目視不可能(内部)なターゲット用で、セットアップステーションとコンソールで校正されています。セットアップステーションをユーザのX線TV検査装置内に設置して、外部のコンソールから操作すれば、リアルタイムで位置あわせとターゲットまでの距離の測定を実行できます(X線TV検査装置は本システムに含まれていません)

□試料準備モード

ターゲットマスタには3種類の試料準備モードがあり、個別に使用することも組合せて使用することもできます。

例えば、試料の連続する積層を常に検査する場合は、材料除去モードを使用します。このモードのときは、±5μmの精度で各層を除去して、新しい層に到達するたびに自動的に停止します。

マイクロエレクトロニクスの構成部品などから顕微鏡検査用のターゲットを準備する場合に、規制研磨/琢磨を手動で行うと無駄が多くなります。そこでターゲットシステムは手動規制研磨/琢磨を採用していません。このような場合には、ターゲットX又はターゲットZセットアップステーションと組み合わせて、ターゲットマスタをターゲットモードに設定します。接続するセットアップステーションは、試料で目視不可能(内部)か目視可能(外部)なターゲットのどちらかを検査するかで異なります。

ターゲットXセットアップステーションをX線TV検査装置と一緒に使用すれば、目視不可能(内部)なターゲットをリアルタイムで位置合わせでき、目標値(目標までの距離)を測定できます。通常検査の対象が目視可能(外部)なターゲットである場合は、ターゲットZセットアップステーションを使用します。ターゲットZセットアップステーションは強力な画像システムを装備していますので、微細なターゲットでも、正確に位置合わせと測定ができます。

時間モードを選択すると、設定時間内だけ酸化物琢磨を行ったり、手動で材料除去作業を行う場合に時間を制御したりできます。

□ふたつの測定系

ターゲットマスタは材料除去量を、二つの別々の測定系で制御しています。研磨作業段階ターゲットまで175μm以上の材料除去は、電子計測システムがターゲットまでの距離を連続的に測定して制御します。この方法で、ターゲットまでの大まか距離を、できるだけ短時間に研磨できるように設計されています。琢磨作業段階とターゲットまで175μmの材料除去は、レーザー計測システムで管理します。この計測システムは、独特の比較測定法で、誤差±5μmという驚きの研削制度を実現しています。

□人工知能試料準備システム(IPS)

ターゲットマスタの特徴は人工知能試料準備システム(IPS)で、試料と研磨/琢磨作業面の実際の特性に合わせて、材料除去時間と材料除去率を自動的に調整します。その結果、必要な測定頻度が少なくなりますので、試料準備時間が短くなります。

試料準備を開始する前に試料の高さを測定して、そしてIPSが作業段階ごとの材料除去時間を計算します。材料除去時間は選択する、試料試料準備法と基準値に基づいています。基準値は、研磨面と琢磨面の材料除去量を控えめに想定した理論値で、ターゲットマスタのIPSデータベースに保存されています。

試料準備の開始時は、基準値を採用します。試料と作業面の特性を感知すると試料準備を停止して、実際の材料除去量を測定します。これに基づいて、現作業段階初期の実際の材料除去率を計算します。作業段階の後段では、新しい実際の材料除去率を採用します。

人工知能システム(IPS)の動作

・比較レーザー測定法で高い精度を確保しています。

・各作業段階は、内臓のデーターベース(基準値)に基づいた材料除去率で開始します。

・工程を中断して、レーザー測定を実施します。

 材料除去率と材料除去時間を再測定します。

・作業の後段を新しい材料除去率で続行します。

□技術データ


ターゲットシステム

システム精度 ±5μm(20℃)


ターゲットマスタ研磨/琢磨装置

直径 200mm

円盤の回転速度 40−300rpm(増減単位:10rpm)

試料板の回転速度 20−150rpm(増減単位:10rpm)

加圧力 10−75N(増減単位:5N)

回転方向 時計方向/半時計方向

モータ出力 250W


ソフトウェアと電子部品

コントローラー タッチパッド式

メモリ フラッシュROM/RAM/NV−RAM

液晶ディスプレイ 240X128ドット、バックライト


騒音レベル

試料準備時 54dB(A)

洗浄時 72dB(A)


動作環境

温度 5−40℃

相対温度 35−50%


供給

電圧/周波数 200−240V/50−60Hz

供給電力 単相(N+L1+PE)又は二相(L1+L2+PE)電気工事は「第二種電気工事基準」に適合すること

公称負荷時の電力 700W

無負荷時の電力 16W

公称電流 3.5A

最大電流 6.9A

給水栓の圧力 1−10バール

給水口の口径 1/2インチまたは3/4インチ

排水口の口径 32mm

圧縮空気の給気圧 6−10バール

圧縮空気の品質 ISO8573−1、5.6.4に適合すること

排気口 32mm

排気量/分 30㎥


寸法と重量

幅 820mm

奥行き 860mm

高さ 595mm

重量 115Kg


ターゲットグリップ

試料サイズ 40径又は25mm径(25mm径の場合は、25mm径埋込済み試料固定用アダプター(TARAD)を使用)

断面研磨 サンプルチェアー(TARSC)に取り付ける。最大試料サイズ27×13mm

平行研磨 平行研磨用アダプター(TARPA)に取り付ける。最大試料サイズ23×23mm

角度調整範囲 ±5度

試料板の直径 58mm

重量 0.58Kg


ターゲットドーザー自動定量供給ステーション

容量 懸濁液/潤滑用ポンプ4基

酸化物琢磨懸濁液用ポンプ1基

洗剤溶液用ポンプ1基

アルコール溶液用ポンプ1基


供給量

懸濁液 0.2−4.0mL(20段階)

一体型懸濁液 0.2−12.0mL(20段階)

潤滑剤 0.2−12.0mL(20段階)

酸化物琢磨懸濁液 20.0−90.0mL(20段階)


ソフトウェアと電子部品

コントローラー タッチパッド式

メモリ フラッシュROM/RAM/NV−RAM

液晶ディスプレイ 240×128ドット、バックライト


ネットワーク接続

ストルアスLANモジュール オプション


動作環境

温度 5−40℃

相対温度 35−50%


供給

電圧 直流24V、1A、ターゲットマスタから給電


寸法と重量

幅 200mm

奥行き(ボトルトレイあり) 210mm

奥行き(ボトルトレイなし) 550mm

高さ 380mm

重量(ボトルトレイあり) 8.5Kg

重量(ボトルトレイなし) 10.0Kg


目視不可能試料用ターゲットXセットアップステーション

ソフトウェアと電子部品

コントローラー タッチパッド式

メモリ フラッシュROM/RAM/NV−RAM


動作環境

温度 5−40℃

相対温度 35−50%


供給

電圧/周波数 200−240V、50−60Hz

単相(N+L1+PE)又は二相(L1+L2+PE)

電気工事は「第二種電気工事基準」に適合すること

公称負荷時の電力 50W

無負荷時の電力 10W

公称電流 0.25A

最大電流 1.0A


寸法と重量

幅 705mm

奥行き 385mm

高さ 285mm

重量 13Kg


目視可能試料用ターゲットZセットアップステーション

ソフトウェアと電子部品

コントローラー タッチパッド式

映像ディスプレイ 15インチTFTモニタ


動作環境

温度 5−40℃

相対湿度 35−50%


供給

電圧 直流24V、1A、ターゲットマスタからの給電

映像モニタ 200−240V、50−60Hz


寸法と重量

幅 235mm

奥行き 315mm

高さ 205mm

重量 15Kg


仕様 Cat.no. コード


ターゲットマスタ 05756127 TARMA

200mm径円板装備の自動研磨/琢磨装置

ターゲットグリップ(TARGR)と25mm径埋込済み試料固定用アダプター(TARAD)を含む

ターゲットドーザー(TARDO)は別売り


ターゲットグリップ 05756901 TARGR

角度調節可能なホルダー、40mm径


ターゲットドーザー 0576904 TARDO

各工程で使用する研磨剤と潤滑剤を管理する自動供給装置

懸濁液/潤滑剤用ポンプ6基と酸化物琢磨懸濁液用ポンプ1基


ターゲットX 05756903 TARXX

目視不可能な試料のセットアップステーション

ユーザー準備のX線TV検査装置と併用


ターゲットZ 05756902 TARZZ

目視可能な試料のセットアップステーション

15インチの映像TFTモニタ付き


ストルアスLANモジュール 05626101 TEGLA

LAN接続用のネットワーク・アダプタとソフトウェア


25mm径埋込済み試料固定用アダプター 0576905 TARAD

ターゲットグリップ用アダプター

SEM観察時にはアダプターから着脱可


サンプルチェアー 05756908 TARSC

断面切断用アダプター(使い捨て)

最大試料サイズ27×13mm、50個/組


平行研磨用アダプター 05756910 TARPA

平行研磨用アダプター(再利用可能)

最大試料サイズ23×23mm


ラベル 05756907 TARLA

試料台座(TARSC)といっしょに使用する金属ラベル 50枚/組


40mm径用垂直埋込アダプター 05756912 TARIN

40mm径までの試料を垂直に埋めるためのアダプター50個/組

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日本海計測特機株式会社

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