直結型油回転真空ポンプ

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SHINKO-SGD400/SGD600/SGD900/SGD1300

                                              直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

軸に固定されたロータが、回転することにより、ポンプのシリンダ内部に空間が生じ、その結果、吸気口よりシリンダ内部の空間に、気体が入ります。そして、ロータが回転することにより、シリンダとピストン、シリンダとベーンとの空間にある気体は、圧縮される空間に移り、排気弁を通して、油タンク内部へ排出されます。ポンプ各部の潤滑・冷却と気密保持のために

用いられる油は、本体側面からシリンダ内に供給、圧縮された気体と共に排気弁を通して、油タンク内部に排出され、タンク内部で気体と分離されます。

クリーンルームに対応する清浄度とコンパクトさを実現。

 

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SATOVAC-P65D                       直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-P100D                      直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-P135D                      直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-P165D                      直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

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SATOVAC-P300D                      直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-P700D                      直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-P1500D                    直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

モーターの小型化により、消費電力を大幅にダウン、見やすい大型油面計・ワンタッチドレンバルブ・脱着式ハッチ等使い勝手が良くなりました。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥機、各種研究開発機器、電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置、脱ガス・バーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留・濃縮・脱気、油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱臭、脱水等に。

 

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SATOVAC-DW60/DW60C            直結型油回転真空ポンプ

                                              

                

DW60Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。 

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW120/DW120C       直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW120Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW185U/DW185CU  直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW185CUは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW360/DW360C     直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW360Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW720/DW720C      直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW720Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW960/DW960C      直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW960Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

、脱ガス・ベーキング・乾燥・蒸着・スパッタリング・脱泡充填、真空蒸留、

濃縮・脱気、真空パッケージ、油脂・石油・可塑材蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品凍結乾燥、含浸、レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング・スパッタリング、樹脂注型、成型に。

 

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SATOVAC-DW1500/DW1500C    直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

DW1500Cは、特殊表面処理クリーンS(ニッケル合金三層表面処理)を施した、耐触型で、ガス接触部に酸・アルカリに強い耐磨耗材を使用。

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定器、真空乾燥、各種研究開発

機器、電子管、ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置

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SATOVAC-DT5                      直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

ゲーデ式の回転翼型。

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SATOVAC-DT20                     直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

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SATOVAC-DS202                   直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

カップリングによる真空ポンプであり、2段ローター型の圧縮方式を採用。

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SATOVAC-DS502                   直結型油回転真空ポンプ

                            

                

 

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