スクロール型ドライ真空ポンプ

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SATOVAC-OFSH320G          スクロール型ドライ真空ポンプ

                                            

                                              

                

水分吸収に強いガスバラスト機構を搭載した、ポンプです。オイルフリーで

クリーンな真空排気、ガスバラスト機構搭載で長寿命、冷却水・N2ガスが

不要な空冷式、低振動・低騒音。

理化学分析機器内の大気真空引き、半導体製造装置のロードロック室真空引き(半導体用ガス混入無)、液晶注入装置の脱気工程真空引き、電子顕微鏡補助ポンプ、ドライ真空排気系補助ポンプ、真空乾燥装置の真空引き、真空梱包装置の空気真空引きに。

           [見積依頼無料!]

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SATOVAC-OFSH630G          スクロール型ドライ真空ポンプ

                                            

                                              

                

水分吸収に強いガスバラスト機構を搭載した、ポンプです。オイルフリーで

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