除振装置(アクティブ制御式)

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MEIRITSU-MAPS008/MAPS016/MAPS033/MAPS065/

              MAPS130/MAPS240

               空気圧制御式アクティブ除振システム

                                              

 

コンパクトな形状の中に、垂直用と水平用の空気圧アクチュエータを組込んだユニットタイプです。4ユニット使用で全自由度の振動に対して、優れた除振性能を発揮します。パッシブ型では固有振動による共振が常に問題となりますが、アクティブ化によって、固有振動による共振を取除けます

。低周波振動の除振性能にも優れます。

 

 

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MEIRITSU-ATT0605/ATT0806/ATT1007/ADT0605/

              ADT0806/ADT1007/MCA2B

             

                                アクティブ除振システム

                                              

 

極薄かつコンパクトな形状の中に垂直用と水平用のアクチュエータを組込んだ卓上/デスク型の除振システムです。全自由度の振動に対して、優れた性能を発揮します。

 

 

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MEIRITSU-ADT0605QB/ADT0806QB/ADT1007QB

                           

                防音ボックス付アクティブ除振システム

                                              

 

トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)等の走査型プローブ顕微鏡を用いて観察する場合、除振装置と防音ボックスを用いることにより、床振動や音の影響によるノイズやアーティファクトを飛躍的に最小化します。

 

 

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