ダイシング周辺装置

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JCM-FAB100                自動ウェハブレーカ装置

                                          

                    

                                          

 

真空吸着方式でウェハ表面にダメージを与えることなくブレイクできます。ローダー部を割愛したセミオートタイプのSAB100もあります。

 

 

 

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JCM-RC100                  リングフレーム洗浄機

                                          

                    

                                          

 

産業廃棄物として廃棄されている SI チップを再利用できます。Φ8インチ仕様の装置もオプションで可能。

 

 

 

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JCM-ME100/ME200        手動テープ引き伸ばし機

                                          

                    

                                          

 

ウェハ拡張機を格安でご提供します。ME100はΦ6インチ、ME200はΦ8インチに対応、ハンドルを回し、引き伸ばし量を調整できます。

 

 

 

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JCM-SE100            半手動テープ引き伸ばし機

                                          

                    

                                          

 

タッチパネルで操作性が向上しました。ダイシング済みのウェハを余熱時間・加熱時間・拡張スピード・拡張量に再現性を持たせて拡張できます。

 

 

 

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JCM-ウェハ洗浄機                ウェハ洗浄機

                                          

                    

                                          

 

ダイシング後のウェハ洗浄からUV照射までを一貫して行えます。

 

 

 

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日本海計測特機株式会社

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