レーザー顕微鏡

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OLYMPUS-OLS3500              ナノサーチ顕微鏡

 

 

 

レーザー顕微鏡で検出した欠陥をプローブ顕微鏡で観察したら、どこに欠陥があるのか分らなくなった経験はありませんか。ミリからなのまで、1台の顕微鏡でシームレスな観察・測定 ができるようにしました。

 

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OLYMPUS-OLS3000       走査型共焦点レーザー顕微鏡

 

 

 

真の「Reliability & Speed」を追求、世界最高レベルの分解能や高い繰返し性、厳格なトレーサビリティー体系の採用等、高い信頼性を実現。装置準備や試料の前処理は不要で、試料はそのままステージへ置いて、リアルタイムに高解像度観察・高精度計測ができます。更に、明視野・暗視野・レーザー微分干渉等の多彩な観察法で、よりリアルな試料の解析が簡単に行えます。

 

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OLYMPUS-OLS3000IR 走査型共焦点赤外線レーザー顕微鏡

 

 

可視光では見えないIC内部観察を驚異的な高分解能で観察可能、従来の赤外線顕微鏡では確認できなかったICパターンの微小な傷、アライメントマークの正確な位置、バンプパッドの表面状態等がはっきりと観察できるだけでなく、シリコン内部の段差計測も可能となりました。

基本性能については、OLS3000同様です。

 

 

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OLYMPUS-OLS3000-200   走査型共焦点レーザー顕微鏡

 

 

 

408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ200mm/150mmウェハーローダー付き。

 

 

 

 

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OLYMPUS-OLS3000-300   走査型共焦点レーザー顕微鏡

 

 

 

408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ300mmウェハーの全面観察が可能なオートステージを搭載しています。

 

 

 

 

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日本海計測特機株式会社

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