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OLS-MX61/MX61L                 半導体/FPD検査顕微鏡

 

 

 

検査ニーズに柔軟に応答するオペレーションユニットを装備しました。複数の観察条件の設定が可能なので、複雑な条件設定を即座に呼び出せるFUNCTION機能、高度な操作が可能なエンジニア画面等を装備、解析ニーズに対しても、顕微鏡操作はもちろん、デジタルカメラ、電動ステージ等周辺機器制御も簡単に行えます。複数の操作を必要とした高度な観察法、深紫外線観察等への切替も1クリックで行えます。

 

 

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OLS-MX51                                  工業用検査顕微鏡

 

 

スピーディーなステージ移動と粗微動の切換で検査スピードをアップします。手を持ち替えずにフォーカシングをしながら調光、スムースな検査を実現します。塵埃の付着を防ぐ帯電防止処理、SEMI S2/S8に適合、高い安全性とエルゴノミー性を確保しています。電動リボルバーで対物レンズをダイレクト切換、可視から近赤外までの多彩な観察法に対応、透過観察にも対応、嵩上げにより高さあるサンプルにも対応、ウェハ搬送装置を用意、コンフォーカルモジュールを用意。

 

 

 

 

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OLS-U-UVF248            顕微鏡用深紫外線観察システム

 

 

DUV(深紫外線)観察用の顕微鏡です。0.08μmの解像限界まで高いコントラスト像を実現、ご使用中のMXシリーズに簡単に装着可能、低倍率可視光から高倍率DUVまでのシームレスな観察が可能、15フレーム/秒のリアルタイムな画像処理表示。

 

 

 

 

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OLS-MX80                          半導体自動検査顕微鏡

 

 

顕微鏡観察に伴う、主要な操作の電動化、観察条件の記憶により、誰でも簡単な操作でベストな観察像を提供します。観察時の全ての操作をハンドスイッチのみで、操作可能。円形絞りの採用、超高倍率でのオートフォーカスの実現や鮮明な微分干渉像等、独自の光学性能を追求しました。

 

 

 

 

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OLYMPUS-OLS3000-200   走査型共焦点レーザー顕微鏡

 

 

 

408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ200mm/150mmウェハーローダー付き。

 

 

 

 

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OLYMPUS-OLS3000-300   走査型共焦点レーザー顕微鏡

 

 

 

408nm半導体レーザーと専用光学設計により、世界最高クラスの高分解能を実現しました。堅牢性の高い顕微鏡本体により、高精度X、Y、Z測定が可能です。Φ300mmウェハーの全面観察が可能なオートステージを搭載しています。

 

 

 

 

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