工業顕微鏡

工業顕微鏡

正立金属顕微鏡
観察の幅が広く、検査から研究用途まで対応対象は金属組織など様々

倒立金属顕微鏡
高性能なイメージングシステムを実現
画像解析ソフトウェアとの組み合わせで性能を発揮

コンポーネント顕微鏡
装置に組み込むことを目的とした
顕微鏡モジュール
電動、マニュアルなど用途に合わせた仕様をラインナップ

実体顕微鏡
広いワークディスタンスの確保が可能
肉眼で見るような立体的な観察が特徴

デジタルマイクロスコープ
液晶モニタ上で観察す
る新しいタイプの顕微鏡
解析スピードと高い精度保証による革新的なワークフローを実現

3D測定レーザー顕微鏡
通常の光学顕微鏡を凌駕する
高分解能な像の取得が可能
3Dの立体画像合成により
高精度な高さ計測を実現

測定顕微鏡
対象サンプルのXYZ方向の寸法測定が可能
ソフトウェアとの組み合わせで観察、測定、
レポート作成機能など高い作業効率を発揮

工業顕微鏡用カメラ 画像解析ソフトウェア

高解像、高フレームレートのカメラによる質の高い画像をお客様にご提供
専用ソフトウェアでは画像の計測、解析、レポート作成など高いサポート性能を実現
追加オプションによる機能拡張で多種多様なサンプルにご対応

金属組織学(鉄鋼/鋳物製品)向けのソリューション

粒度解析(切断法)
(フェライト結晶粒の微細組織)

粒度解析(計数法)
(フェライト結晶粒の微細組織)
鋳鉄解析(延性鋳鉄における球状化黒鉛)
非金属介在物解析
(非金属介在物含有の鉄鋼)

機械加工(自動車/機械加工部品)向けのソリューション

溶接計測(溶接部ののど厚計測)
フェーズ分析
粒子解析
(メンブレンフィルター上の残留物)

エレクトロニクス(電子部品/半導体)向けのソリューション

スローイングパワー計測
(PCBスルーホールの切断面)
ゲートCDの自動計測
(ウエハ上のパターン)

薄膜蒸着(コーティング)向けのソリューション

皮膜厚さ測定
(カロテスト法で得た金属表面の皮膜)
レイヤ厚計測
(塗装,ラッカーが塗布された鉄鋼の断面)

気孔率解析
(熱蒸着で炭素皮膜された金属の断面)

工業顕微鏡各種観察・計測方法のご紹介

顕微鏡の観察方法は観察する対象、条件、研究の目的などによって様々です。
顕微鏡の性能を最大限に発揮するには標本に適した観察方法の選定が必要となります。
デジタルマイクロスコープやレーザー顕微鏡を利用すれば、観察像を使用した寸法計測や面粗さの測定も可能です。
多彩な機能を利用することで観察・計測の幅が広がり、作業の効率化にもつながります。

明視野観察
最も一般的な観察方法
標本を反射した光を観察する
キズのある鏡面を観察するとキズの場所が暗く見える

観察例:平らなサンプルの微細構造

右:暗視野観察画像

暗視野観察
標本に斜めから光を当て、散乱光や反射光を観察する
暗い視野の中でゴミやキズが光って見える

観察例:金属表面のキズ検出

右:微分干渉観察画像

微分干渉観察
明視野観察では捉えられない、表面上のナノレベルの凹凸や異物、キズなどを可視化して観察する

観察例: ウェハー、フィルム、液晶AFC、ガラス表面

右:偏光観察画像

偏光観察
金属組織や鉱物など、偏光特性を持ったサンプルに明暗や色のコントラストをつけて観察する

観察例:金属組織、鉱物の結晶の観察

デジタルマイクロスコープでの観察像を使用した寸法測定
レーザー顕微鏡での面粗さ計測

国家基準で精度管理された信頼性の高いデータを取得可能

接触式の粗さ計では測定が難しい微細な凹凸の計測が可能

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