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液中パーティクルカウンター技術解説

 

 

 

 

 

 

 

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RION-KS40A/KS40AF      液中パーティクルカウンター

 

 

高信頼性、液中0.1μmシリーズを更に使いやすくグレードアップしました。

高出力半導体レーザーと新型フローセルによる0.1μmの高感度測定、少ないサンプル量・短い測定時間で正確な繰返し測定可能。小型軽量化・液漏れ検知等更に使い良さを追求しました。従来器のオプションをそのまま活用し、多様なシステムの構築が可能。

KS40AFはフッ酸対応一体型のサファイヤセルを使用、あらゆる液体に対応しています。(KS40A/40AFはコントローラーKE40/40Aと組合せて使用)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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RION-KS40B/KS40BF      液中パーティクルカウンター

 

 

小型軽量、液中0.2μmシリーズで更に使いやすくグレードアップ。

純水・溶剤・アルカリ・フォトレジスト・酸・フッ素(40BF)に対応。

あらゆる液体の高清浄度サンプル測定に最適な計数効率・粒径分解能、少ないサンプル量・短い測定時間で正確な繰返し測定が可能。

KS40BFはフッ酸対応のサファイヤセルを使用し、あらゆる液体に対応。

 

 

 

 

 

 

 

 

RION-KS41      液中パーティクルカウンター

 

 

半導体製造工程のフォトレジスト溶液やSOG等に0.15μmで対応。

粒子径区分or範囲 0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm
最大定格粒子濃度 2400個/mL
定格流量 10mL/min
光源 半導体レーザー
寸法 300W×160H×250D
重量 7.5s
電源電圧 外部電源(KE-40)
用途備考 バッチ測定向け

RION-KS16/KS16F    液中パーティクルカウンター

 

 

0.1μm、液中インラインパーティクルセンサー、KS-16Fはフッ酸対応。

粒子径区分or範囲 0.1μm、0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm
最大定格粒子濃度 1200個/mL
定格流量 10mL/min
光源 半導体レーザー
寸法 240W×110H×150D
重量 4.8s
電源電圧 外部電源(KZ-50)
用途備考 インライン向け

RION-KS17A/KS17B    液中パーティクルカウンター

 

 

0.05μm、超純水向けインラインパーティクルセンサー(KS-17B)、0.06μm、薬液対応(KS-17A)

粒子径区分or範囲 0.06μm(17A)、0.05μm(17B)、0.1μm(共通)
最大定格粒子濃度 100000個/mL
定格流量 10mL/min
光源 半導体レーザー
寸法 300W×170H×270D
重量 6.5s
電源電圧 外部電源(KZ-50)
用途備考 インライン向け

RION-KS71    液中パーティクルカウンター

 

 

CMPスラリーを希釈なしで測定、スクラッチ不良の要因を早期発見。

粒子径区分or範囲 3μm、5μm
最大定格粒子濃度 2000個/mL
定格流量 60mL/min
光源 半導体レーザー(光遮へい)
寸法 10W×50H×40D
重量 0.48s
電源電圧 DC9〜28V(外部電源)
用途備考 スラリー向け

RION-KL04    液中パーティクルカウンター

 

 

注射剤用純水中の不溶性微粒子の測定・管理システム。

粒子径区分or範囲 1.3μm〜100μm
最大定格粒子濃度 10000個/mL
定格流量 25mL/min
光源 半導体レーザー(光遮へい)
寸法 395W×370H×23D
重量 14s
電源電圧 AC100〜240V
用途備考 注射剤向け

RION-KS65    液中パーティクルカウンター

 

 

小型の光遮へい式センサー、ミクロン粒子のバッチ測定に対応。

粒子径区分or範囲 2μm〜100μm
最大定格粒子濃度 10000個/mL
定格流量 25mL/min
光源 半導体レーザー(光遮へい)
寸法 60W×80H×200D
重量 1.5s
電源電圧 外部電源(KL-11A)
用途備考 バッチ測定向け

RION-KL28B/KL28BF  液中パーティクルカウンター

 

 

小型のインライン向け、「スーパーカミオカンデ」の純水管理に採用されています。

粒子径区分or範囲 0.2μm、0.5μm
最大定格粒子濃度 1200個/mL
定格流量 10mL/min
光源 半導体レーザー
寸法

センサー:85W×70H×120D

制御部:85W×65H×120D

重量 1.3s
電源電圧 DC6.5〜10V(AC100Vアダプター使用)
用途備考 インライン向け

RION-KS28K/KS28BK  液中パーティクルカウンター

 

 

KL-28シリーズの小型センサーを、KL-11Aでのバッチ測定システムに。

粒子径区分or範囲

KS28K:0.5μm〜20μm

KS28BK:0.2μm〜2μm

最大定格粒子濃度 1200個/mL
定格流量 10mL/min
光源 半導体レーザー
寸法

KS28K:90W×60H×120D

KS28BK:85W×70H×120D

重量

KS28K:0.6s

KS28BK:0.85s

電源電圧 外部電源(KL-11A)
用途備考 バッチ測定向け

RION-XPL4    純水測定システム

 

 

オールインワンの0.05μm純水管理システム、4-20mAアナログ出力標準装備。

 

 

 

 

RION-KE40    コントローラー

 

 

KS-40A/KS-40AF/KS-40B/KS-40BF/KS-41対応。

粒子径区分 最大6段階
測定時間 1分、10分、手動
数値表示 7セグLED(6桁)
寸法 240W×130H×170Dmm
重量 2.8s
電源電圧 AC100-240V
用途備考  

RION-KL11A    コントローラー

 

 

KS-28K/KS-28BK/KS-65対応。

粒子径区分 最大6段階
測定時間 測定量と定格流量に依存
数値表示 7セグLED(6桁)
寸法 325W×120H×410Dmm
重量 7s
電源電圧 AC100V
用途備考 プリンター内蔵

RION-KZ30W1   シリンジサンプラー

 

 

試料流体の流速の安定化とカウンター制御。

対応シリンジ 10mL、25mL
測定制御 開始/停止、空測定、周期測定
設定記憶数 50回(バッテリーバックアップ)
電源 AC100〜240V
寸法 145W×350H×290Dmm  6s

 

 

RION-K9904    ベローズサンプラー

 

 

試料流体の流速の安定化、インライン向け。

最大排出量 15mL/1ストローク
外部圧力 300 kPa まで(K9904A)
最大流体粘度 30 cp (10mLの時)
電源 AC100〜240V
寸法 230W×105H×150Dmm  2s

 

 

RION-KZ70    センサーコントローラー

 

 

センサー多点モニタリングシステムのモニター等に。

表示項目 日付、時刻、測定データー等
電源 AC100〜240V
寸法 170W×60H×200Dmm  1.3s

 

 

RION-KH03    波高分析器

 

 

更に詳しい粒度分布測定・データー分析に。

応答周波数帯域 1kHz〜500kHz
電源 AC100〜240V
寸法 300W×35H×240Dmm  1.9s

 

 

RION-KP06    プリンター

 

 

パーティクルカウンターの制御とデータ出力に。

粒子径区分 最大6段階を印字
測定制御 開始/停止、周期測定、光源制御
記録紙 TP-08、TP-10(無塵紙)
電源電圧 AC100V
寸法 170W×70H×240Dmm 1.2s

 

RION-DPU414   プリンター

 

 

パーティクルカウンターのデータ出力に。

インターフェイス RS-232C
印字 感熱シリアルドット方式/40桁
記録紙 TP-14、TP-26(無塵紙)
電源電圧 AC100V〜240Vまたは内蔵バッテリー
寸法 160W×65H×170Dmm 0.7s

 

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