ウェハーバックグラインド

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JCM-BR100                     BGテープ剥離機

                                          

                    

                                          

 

ウェハーに貼られたBGテープを剥離します。剥離強度をモニターする事が可能。

 

 

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JCM-SMB100                 BGテープマウンター

                                          

                    

                                          

 

ウェアー表面にBGテープをマウント、カットまでおこなっていましたかウェハーに貼られたBGテープを剥離します。剥離強度をモニターする事が可能。

 

 

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JCM-MM100/MM200/MM300/SMM100/SMM100UC/

        SMM100P

                    ウェハー・基板マウンター

                                          

                    

                                          

 

MM100は Φ8” リングにウェハ/基板を手動で貼るタイプ、MM200は Φ6” リングにウェハー/基板を手動で貼るタイプ、MM300は Φ12” リングにウェハー/基板を手動で貼るタイプ、SMM100は Φ8” リングフレームにウェハーを半自動でマウントするタイプ、SMM100UCは、 Φ8” リングフレームにウェハーを半自動でマウントする中空テーブル採用のタイプ、SMM100

Pは Φ8” リングフレームにウェハーを半自動でマウントする全面チャックテーブル採用のタイプです。

 

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日本海計測特機株式会社

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