FIB装置/FIB-SEM複合装置(イオンビーム装置)

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SII-SMI3050/SMI3050SE/SMI3200SE/SMI3300SE

                      FIB装置/FIB-SEM複合装置

                                          

                    

                                          

 

微細化・高集積化が進む半導体を始めとする電子デバイス業界や無機/有機で進化する材料業界において、ナノメートルオーダーでの観察・加工・解析の重要性は高まっており、その要請に対応しました。

任意箇所の超高精度加工・高分解能観察・微細配線の修正等、幅広い用途で使用可能。また、最近では、ナノワイングラスに代表される三次元ナノ精度構造物の作成等のナノマニシング分野にアプリケーションが広がっています。45nmノード世代をリードするFIB-SEMダブルビーム。

 

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